CVD氣相沉積爐
化學(xué)氣相沉積爐應(yīng)用領(lǐng)域
化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積，如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理。
化學(xué)氣相沉積爐產(chǎn)品規(guī)格
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產(chǎn)品型號/規(guī)格W×H×L(mm) |
600*600*1000 |
800*800*1200 |
1000*1000*1500 |
1200*1200*2500 |
1500*1500*3000 |
2500*2000*3600 |
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裝載重量(KG) |
350 |
800 |
1500 |
2500 |
5000 |
10000 |
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最高溫度(℃) |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
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溫度均勻性(℃) |
±7.5 |
±7.5 |
±7.5 |
±10 |
±10 |
±15 |
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加熱功率(kw) |
250 |
360 |
480 |
600 |
900 |
1200 |
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極限真空度(Pa) |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
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壓升率(Pa/h) |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
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以上化學(xué)氣相沉積爐參數(shù)可以根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。 |
化學(xué)氣相沉積爐主要配置
爐門：絲杠升降//液壓升降/手動升降；手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽：軟碳?xì)?FONT face=宋體>/軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC
加熱器：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨
工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計；手動閥/自動閥；進(jìn)口/國產(chǎn)
真空泵和真空計---進(jìn)口/國產(chǎn)
PLC：歐姆龍/西門子
控溫儀表：日本島電/英國歐陸
熱電偶：C分度號/S分度號/K分度號/N分度號
記錄儀：無紙記錄儀/有紙記錄儀；進(jìn)口/國產(chǎn)
人機(jī)界面：模擬屏/觸摸屏/工控機(jī)
電器元件：正泰/施耐德/西門子
料車：滾道式/叉車式/疊加式超長傳輸料車
化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)特征
本化學(xué)氣相沉積爐最大工作區(qū)尺寸可達(dá)2.5m×2m×4.5m，能滿足超大型工件化學(xué)氣相沉積處理需求；
本化學(xué)氣相沉積爐采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；
本化學(xué)氣相沉積爐采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
本化學(xué)氣相沉積爐采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；
本化學(xué)氣相沉積爐對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理。
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